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电子与半导体


行业概述
半导体制造是气体纯度要求较高的行业。高纯氮气作为载气、吹扫气和封装保护气,贯穿从晶圆制造到封装测试的全流程;高纯氩气则用于化学气相沉积、溅射、氧化退火等关键工艺。气体中微量杂质都可能直接导致芯片报废。电子半导体行业对气体纯度的要求较高,同时供气的连续性和稳定性直接关系到产线稼动率和产品良率。


解决方案
峰云流体为电子半导体行业提供高纯现场制氮/制氩系统,满足芯片制造、面板生产、封装测试等场景对气体纯度的严格要求。现场制气模式+管道直送,消除钢瓶运输、更换、储存环节的二次污染隐患。系统配备全自动精馏控制与在线纯度监测,依托物联网技术实现24小时远程监控。同时可配置液氮补充系统,在主装置检修时快速切换,保障产线连续运行。

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