电子与半导体

行业概况
半导体制造需要所有行业中最高的气体纯度。高纯度氮气在从晶圆制造到包装和测试的整个过程中充当载气、吹扫气和包装保护气氛。高纯度氩气用于化学气相沉积、溅射和氧化退火等关键工艺。气体中的任何微量杂质都可能直接导致芯片故障。电子半导体行业对气体纯度要求极其严格,而供应连续性和稳定性与生产线正常运行时间和产品产量直接相关。

解决方案
Fengyun Fluid为电子半导体行业提供高纯度现场氮/氩生成系统,满足芯片制造、面板生产、包装和测试等场景的最终气体纯度要求。直接管道输送的现场发电模式消除了与气缸运输、更换和储存相关的二次污染风险。该系统配备全自动蒸馏控制和在线纯度监控,并由物联网技术支持,实现全天候远程监控。还可以配置液氮备用系统,以确保主机维护期间的无缝切换,保证生产线的零停机时间。